使用 4200A-SCS参数分析仪(参数测试仪)加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是业内性能领先电学特性参数分析仪,提供同步电流电压曲线测试 (I-V曲线测试)、电容-电压曲线测试 (C-V曲线测试) 和超快脉冲 I-V曲线测量。
参数查看,快速清晰
推进大胆发现从未如此容易。4200A-SCS 参数分析仪从设置到运行检定测试的时间减少高达 50%,从而实现无与伦比的测量和分析能力。此外,嵌入式测量专业知识提供无与伦比的测试指导,并让您对最终结果充满信息。
特点
用于 DC IV、CV 和脉冲 IV 测量类型的高级测量硬件;立即使用 Clarius 软件中所含的数百种用户可修改应用程序测试开始测试;自动实时参数提取、数据绘图、分析函数。
准确的 C-V 表征
使用吉时利最新的电容-电压单元 (CVU) 4215-CVU 测量一位数飞法。通过将 1 V AC 电源集成到吉时利行业领先的 CVU 架构中,4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的频率下进行低噪声电容测量。
特点
同类产品中一款能够驱动1 V AC 电源电压的 CV 表;1 kHz 频率,分辨率从1 kHz 到 10 MHz;测量电容、电导和导纳;使用 4200A-CVIV 多路开关最多可测量四个通道。
测量、 切换、 重复
4200A-CVIV 多通道切换模块自动在 I-V 和 C-V 测量之间切换,无需重新布线或抬起探头端部。 与竞争产品不同,四通道 4200A-CVIV 显示器提供本地可视查看,可快速完成测试设置,并在出现意想不到的结果时轻松排除故障。
特点
无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端;用户可配置低电流功能;个性化输出通道名称;查看实时测试状态。
稳定的低电流测量,适用于 I-V 检定
使用 4201-SMU 和 4211-SMU 模块,您可以在高电容系统中实现稳定的低电流测量。4200A-SCS 有四种型号的源测量单位 (SMU) 可供选择,可通过定制满足您所有的 I-V 测量需求。通过提供现场可安装单元和可选的预放大器模块,Keithley 可确保您获得准确的低电流测量,而停机时间很少甚至没有。
特点
不必将仪器送回工厂即可增加 SMU;进行 飞安测量;多达 9 个 SMU 通道;针对长电缆或大卡盘进行了优化。
带分析探测器和低温控制器的集成解决方案
4200A-SCS 参数分析仪支持许多手动和半自动晶片探测器和低温控制器,包括 MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温控制器。
特点
“点击”测试定序;“手动”探测器模式测试探测器功能;假探测器模式无需移除命令即可实现调试。
降低成本并保护您的投资
吉时利保障计划以按需服务事件的一小部分成本提供快速、高质量的服务。 只需点击一下或拨打一个电话即可获得维修服务,在此过程中,无需报价或填写采购单,也不会有审批延误。
飞法电容测量
使用 4215-CVU 模块测量亚毫微微法拉电容。通过驱动 1 V AC,在测量 1 fF 电容器时,4215-CVU 的噪声水平可低至 6 attofarad。这只是 Clarius 软件随附的用于测量电容和提取重要参数的数十种应用程序之一。
特点
内置飞法测量功能;从 1kHz 到 10MHz 的 10,000 个频率步进;使用用户库定制任何设备的任何测试。
半导体和 NVM 可靠性
通过全面脉冲 I-V 检定在测试中利用新技术。 4200A-SCS 为最新 NVRAM 技术提供支持和即用型测试,从浮动门电路闪存到 ReRAM 和 FeRAM,不一而足。 电流和电压双源和测量功能同时支持瞬态和 I-V 域检定。
提供适合高阻抗应用的 C-V 测量功能
采用 Keithley 的自定义极低频 C-V 技术分析高电阻样本的电容。 该技术可通过仅使用源测量单元 (SMU) 仪器实现应用,同时可与 4210-CVU 结合使用,执行更高频率测量。
特点
01 ~ 10 Hz 频率范围,1 pF ~ 10 nF 灵敏度;3½ 位典型分辨率,最小典型值 10 fF。
使用长电缆或电容式夹具时进行测试
当测试需要非常长的电缆或具有较高电容的夹具时,请使用 4201 或4211-SMU。这些 SMU 非常适合连接 LCD 测试站、探测器、开关矩阵或任何其他大型或复杂的测试仪。现场可安装版本使您无需将设备返回服务中心即可增加容量。
材料电阻率
使用集成了 SMU 的 4200A-SCS,可通过四点同轴探头或范德堡法轻松测量电阻率。 内含测试可自动重复执行范德堡计算,节省您宝贵的研究时间。 10aA 的最大电流分辨率和大于 1016 欧姆的输入阻抗可提供更准确和精准的结果。
MOSFET 检定
4200A-SCS 可容纳所有必要的仪器,用于通过组件或晶圆测试执行全面的 MOS 设备检定。 内含测试和项目可以解决 MOSCap 的氧化物厚度、门限电压、掺杂浓度、移动离子浓度等问题。 只需触摸一个仪器盒中的按钮,即可运行所有这些测试。