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表面电阻率测试方案的电子薄膜材料一定尺寸的线性尺度远小于其他二维尺度的材料成为薄膜材料。理论上,薄膜材料的厚度从单个原子到几毫米不等。然而,由于厚度小于100nm的薄膜被称为二维材料,薄膜材料通常指薄金属或有机物层,厚度为微米至毫米。 薄膜材料可分为非电子薄膜材料和电子薄膜材料,非电子薄膜材料不需要分析其电气特性,电子薄膜可分为导电薄膜、半导体薄膜、介质薄膜、电阻薄膜、磁性薄膜、压电薄膜、光电薄膜、热薄膜、超导薄膜等,表面电阻率是电子薄膜电气性能的重要参数。 测试电子薄膜材料的表面电阻率。 四探针法和范德堡法是测试表面电阻率的常用方法,但范德堡法很少用于电子薄膜材料。在大多数情况下,电子薄膜材料的表面电阻率测试对测试仪器的要求不如二维材料/石墨烯材料。测试可通过手动或书写软件自动完成。 电子薄膜材料电阻率测试面临的挑战。 电子薄膜种类繁多,电阻率特性不同。 需要选择合适的SMU进行测试。 被测样品形状复杂,应选择适当的修正参数。 F(W/S)厚度修正系数对测试结果的影响 圆片直径修正系数对试验结果的影响。 温度修正系数对试验结果的影响。 试验结果对环境有影响。 采用电流换向试验消除热电势误差。 采用多次平均提高测试精度。 需要考虑测试成本。 1.一般配置。 2450/240/20/261。 b.四探针台(间距1mm) c.测试软件(第三方) 2.高阻电子薄膜材料试验方案。 第三方探针台。 c.手动或软件编程。 方案优势 1.不同的配置满足不同电子薄膜材料的电阻测试要求。 2.高精度SMU,可以手动测试,也可以自动编程测试。 3.性价比高。 接入技术支持技术提问 * 咨询的品牌或型号 * 是否期望上门演示 公司名称 * 姓名称呼 * 联系手机 * 常用邮箱 * 地区 * 地址 申请相关资料 如需人工服务 验证码 * 提交 |