TSP-2000-MICR 微小材料电阻测试（半导体解决方案）

微小电阻测试方案

系统背景

电阻测试是表征材料特性的较常用的测试手段，在某些应用中，用户需要进行极端微小电阻（Ultra-low resistance）测试，例如纳米材料，超导材料，继电器开关，低电阻材料、连接器的测试，或者精密的热量测定和研究领域。这些被测件通常具有非常高的导电性和非常小的电阻阻值，对测试连接方案有很大挑战。在进行这类材料和器件的测试过程中，为了最大限度的降低被测设备的自热效应，确保待测件的安全和测量的准确性，通常会使用加流测压的方式，在被测物两端施加可控的微弱精密电流信号，通过欧姆定律测定被测件的电阻阻值。

　　　上图为融化断裂的纳米管，由于施加电流过大自热引起断裂

在微小电阻测试领域，泰克公司提供的微小电阻测试方案，通过使用吉时利高精度电流源 622X（100fA~100mA 输出可调）或 2400 系列源表，以及纳伏表 2182A（1nV 灵敏度）组合成为完备的测试解决方案，完美解决了在微小电阻测试过程中经常遇到的问题，使电阻测量灵敏度高达 10nΩ。

配合泰克公司方案合作伙伴提供的上位机软件和测试夹具，可以一站式解决用户在仪表与待测件连接，测试结果存储，以及数据分析过程中遇到的繁杂问题， 提高测试效率。

方案特点

极高的电阻测试分辨率和大测试量程

相比其他方法，622X + 2182A 方案提供了高达 10nΩ 的电阻测试分辨率，提供了极高的性价比。

更好的发热控制

可以使用 Delta Mode 模式消除，自动触发电流源使信号极性交替变化，电流反向法消除了任何恒定的热电失调，确保测量结果反映真实电压值，大幅度降低测量中的噪声信号。

交钥匙方案设计，可以提供完整的测试夹具方案和上位机数据采集处理软件

　　　　　　　低电阻测试软件界面

系统构成

系统主要由 622X 高精度电流源（或 2400 系列高精度源表）、2182A 纳伏表、测试夹具、转接盒和上位机软件构成。

622X 精密电流源可以输出正负电流，编程分辨率高达100fA，6221 可以输出带宽在 1mHz ~ 100KHz 的交流和任意电流波形。

2182A 具备 1nV 电压测试分辨率，提供两个独立测试通道，可以与 622X 配合实现 Delta Mode 测试。

                    CT-MICR-ADP转接盒

方案还提供专用转接头配件 CT-MICR-ADP，可以将622X 和 2182A 的各种输出接口（插片或者鳄鱼夹） 统一转接为标准的 4 终端 BNC 接口，方便与其他夹具或者探针台进行互连。

通过 CT-MICR-ADP 连接微小表面贴装器件的夹具

上位机测试软件 Cyclestar-MICR 提供了多种测试模式，包括 R-T 功能，电流扫描测试功能，Delta Mode 模式。

　　　　　在Delta Mode 下的软件测试界面

软件的 Pro 高级版还集成了脉冲测试功能，微分电导测试模式和 622X 任意波形输出功能。

                Pro版本提供的脉冲、微分电导和任意波型输出功能

一体化测试方案可以帮助客户在短时间内搭建起微小电阻测试环境，针对不同物理尺寸，不同连接方式， 和不同测试方法都可以快速方便的进行连接测试，并在电脑端直接记录获取数据进行后续分析。

系统结构

使用 CT-MICR-ADP 转接盒还可以将测试系统与探针台或其他夹具进行连接

典型方案配置